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本实用新型实施例提供了一种抛光载盘清洗存储设备，用于清洗并存储抛光载盘，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设置有支撑结构和清洁刷，所述支撑结构用于固定抛光载盘，所述清洁刷对应所述支撑结构设置，且所述清洁刷用于清洁固定于所述支撑结构上的抛光载盘...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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