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本发明属于二氧化硅技术领域,尤其是一种光学镀膜用高纯度二氧化硅制备方法,针对存在的杂质含量高和纯度不足的问题,现提出以下方案,包括以下步骤,S1,首先将纯化后的原料逐层平布在气相制备反应釜内,通过高纯度氧气通入,采用300...
该专利属于徐州金琳光电材料产业研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州金琳光电材料产业研究院有限公司授权不得商用。
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本发明属于二氧化硅技术领域,尤其是一种光学镀膜用高纯度二氧化硅制备方法,针对存在的杂质含量高和纯度不足的问题,现提出以下方案,包括以下步骤,S1,首先将纯化后的原料逐层平布在气相制备反应釜内,通过高纯度氧气通入,采用300