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本申请公开了一种光罩缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质及芯片，属于半导体技术领域，其中，光罩缺陷检测方法包括：获取光罩的生产级电子束曝光系统文件；检测生产级电子束曝光系统文件中任意图案的标识，得到基准图案；调用生产级电子束曝光系统的异或...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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