下载分离闸极快闪记忆晶胞的字符线结构的技术资料

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一种分离闸极快闪记忆晶胞(Split  Gate  Flash  Memory  Cell)的字符线(Word  Line)结构。在制作上,先提供分离闸极快闪记忆晶胞的闸极结构,其中此闸极结构上形成有字符线的材料层。再于此字符线材料层上形成...
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