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一种辐射系统，被配置为产生辐射并且包括液滴发生器(3)、激光系统和控制系统，液滴发生器(3)被配置为产生朝向等离子体形成区域行进的燃料液滴，激光系统操作以生成预脉冲(PP)和主脉冲(MP)，其中预脉冲被配置为调节液滴以接收主脉冲，并且其中主...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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