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一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法及系统技术方案
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文档序号:30766911
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本发明涉及金刚石抛光技术领域,公开了一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法,包括:S1、在未抛光的金刚石晶片的表面加工划痕;S2、测量划痕的深度h0;S3、对金刚石晶片具有划痕的表面进行抛光,记录抛光所用的时间t;S4、测量金刚石晶片抛光后...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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