下载一种自动化单晶硅片倒角装置的技术资料

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本实用新型提供一种自动化单晶硅片倒角装置,涉及单晶硅制造技术领域。该自动化单晶硅片倒角装置包括调心倒角装置(1)、多个硅片存放盒一(2)、运送装置(3)和硅片存放盒二(4),调心倒角装置(1)包括调心装置(101)、旋转丝杆(106)、倒角...
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