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一种自动化单晶硅片倒角装置制造方法及图纸
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下载一种自动化单晶硅片倒角装置的技术资料
文档序号:30741299
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本实用新型提供一种自动化单晶硅片倒角装置,涉及单晶硅制造技术领域。该自动化单晶硅片倒角装置包括调心倒角装置(1)、多个硅片存放盒一(2)、运送装置(3)和硅片存放盒二(4),调心倒角装置(1)包括调心装置(101)、旋转丝杆(106)、倒角...
该专利属于成都青洋电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都青洋电子材料有限公司授权不得商用。
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