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封装装置制造方法及图纸
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文档序号:30737602
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封装装置包括多个接合站(14)、以及单个晶片搬运装置(12),所述多个接合站(14)分别具有将半导体芯片(102)接合至基板晶片(100)的接合装置(16)、以及向所述接合装置(16)供给半导体芯片(102)的芯片供给装置(18),所述单个...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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