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本发明涉及谐振装置以及谐振装置制造方法，谐振装置(1)具备：MEMS基板(40)，包含谐振子(10)；上盖(30)，设置为密封谐振子(10)的振动空间S；以及接地部(50)，位于MEMS基板(40)与上盖(30)之间，上述接地部扩散到上盖(...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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