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半导体装置制造方法及图纸
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下载半导体装置的技术资料
文档序号:30729077
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提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:晶体管,位于基底上;第一层间绝缘层,位于晶体管上;下互连线,位于第一层间绝缘层的上部中;蚀刻停止层,位于第一层间绝缘层和下互连线上;第二层间绝缘层,位于蚀刻停止层上;上互连线,位于第二层间绝缘层中,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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