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本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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