烘干设备制造技术

本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。还降低了处理废气的成本。还降低了处理废气的成本。

【技术实现步骤摘要】
烘干设备


[0001]本申请属于晶圆干燥
，具体而言，涉及烘干设备。

技术介绍

[0002]在相关技术中的半导体清洗工艺中，晶圆干燥作为湿法清洗工艺最后的收尾动作，是非常重要的一个步骤，需要确保有效的移除晶圆表面的残余水分，并且，必须能控制设备内部的颗粒数量，保证设备及晶圆的洁净度。
[0003]现有的半导体晶圆湿法设备，主要采用异丙醇蒸汽加氮气的烘干方式，这种烘干方式，主要存在的问题有：1.烘干组件内部管路复杂，内部空间较小，不便于设备的安装及维护；2.异丙醇具有毒性，一旦在使用中出现泄漏，对操作人员的伤害较大；3.异丙醇形成的液体为易燃液体，使用中具有一定危险性；4.异丙醇使用后气体排放，需经过处理，处理成本较高。

技术实现思路

[0004]根据本技术的实施例旨在解决或改善上述技术问题。
[0005]根据本技术的实施例的第一目的在于提供一种烘干设备。
[0006]为实现根据本技术的实施例的第一目的，本技术的技术方案提供了一种烘干设备，用于对工件进行烘干，烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干设备(100)，用于对工件(200)进行烘干，其特征在于，所述烘干设备(100)包括：烘干区(110)，设有抽风腔(1104)和能够打开或封闭的烘干腔(1102)，所述烘干腔(1102)用于放置所述工件(200)，所述抽风腔(1104)与所述烘干腔(1102)相互连通；气路安装区(120)，与所述烘干腔(1102)通过管路连接，所述气路安装区(120)用于为所述烘干腔(1102)输入加热氮气；主抽风管道(130)，与所述烘干区(110)连接，所述主抽风管道(130)用于排出废气；框架(140)，用于设置所述烘干区(110)、所述气路安装区(120)与所述主抽风管道(130)。2.根据权利要求1所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干区(110)包括：托槽(112)，设有抽风口(1122)和导风板(1124)，所述抽风口(1122)与所述主抽风管道(130)连接，所述导风板(1124)设于所述抽风口(1122)的上方；烘干槽(114)，悬挂于所述托槽(112)内；内抽风管路(116)，一端与所述主抽风管道(130)连接，另一端与所述抽风腔(1104)连接；其中，所述烘干腔(1102)与所述抽风腔(1104)分别设于所述烘干槽(114)内。3.根据权利要求2所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干槽(114)包括：烘干槽体(1140)；槽盖(1144)，用于打开或封闭所述烘干槽体(1140)，且所述槽盖(1144)在封闭所述烘干槽体(1140)后与所述烘干槽体(1140)围合出所述烘干腔(1102)；喷淋管路(1146)，与所述气路安装区(120)连接，用于向所述烘干腔(1102)内喷淋加热氮气；其中，所述抽风腔(1104)设于所述烘干槽体(1140)内，所述喷淋管路(1146)设于围合出所述烘干腔(1102)的所述槽盖(1144)和/或所述烘干槽体(1140)上。4.根据权利要求3所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述喷淋管路(1146)包括：第一喷淋管(11462)，设于所述烘干槽体(1140)内的相对两侧，所述第一喷淋管(11462)上设有多个喷孔；第二喷淋管(11464)，设于所述槽盖(1144)朝向所述烘干腔(1102)的一面，所述第二喷淋管(11464)设有多个喷孔。5.根据权利要求1至4中任一项所述的烘干设备(100)，其特征在于，所述烘干设备(100)还包括：摇摆机构(150)，设于所述框架(140)上；其中，所述烘干腔(1102)内设有网板组件(118)，所述网板组件(118)用于支撑所述工件(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，成旭，谈丽文，陈雷，申斌，邱瑞，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：