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本实用新型涉及一种适用于去胶工艺的晶片检测装置，具有底座和安装于底座上的冷却盘；还包括架设于冷却盘上方的传感器；所述传感器上布置有通孔；所述传感器通过支架架设于冷却盘的上方；所述支架的一端与冷却盘侧壁固定连接，支架的另一端与传感器连接。本实...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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