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一种生产母盘的方法，包括下列步骤：在一衬底上镀第一光敏电阻层；根据分别对应于槽和槽脊的一槽形凹口和一槽脊形凸起的图形使第一光敏电阻层曝光；蚀刻衬底和第一光敏电阻层，从而在衬底上形成槽形凹口和槽脊形凸起；在衬底上镀第二光敏电阻层，从而形成槽和...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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