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本文公开了提供用于将多栅极器件的栅极彼此隔离的介电栅极隔离鳍的自对准栅极切割技术。示例性器件包括第一多栅极器件和第二多栅极器件，第一多栅极器件具有第一源极/漏极部件和围绕第一沟道层的第一金属栅极，第二多栅极器件具有第二源极/漏极部件和围绕第...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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