下载一种晶圆框架的承载箱的技术资料

文档序号:30603368

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本申请提供一种晶圆框架的承载箱,包括:壳体和门板,壳体呈矩形框结构,门板沿竖直向下插设于壳体侧面的开口处,壳体两侧壁内表面沿竖直方向设有多组卡槽,卡槽的进口端设有挡块,挡块朝向壳体内部的侧面为凹槽结构,挡块具有弹性,挡块在卡槽长度方向的投影...
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