温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

为了控制旋转阀膜中的晶粒尺寸，需要展示高生产率并能够形成大约１０ｎｍ的构图的光刻技术。将包含聚苯乙烯（ＰＳ）和聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）的二嵌段共聚物４应用到下间隙层１（图２（ａ））。当涂敷通过混和ＰＳ和ＰＭＭＡ形成的液态附加剂时，获得了...
该专利属于日立环球储存科技荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立环球储存科技荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。