温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供一种等离子体处理设备，包括等离子体反应室、升降装置、监测装置、控制器以及调节装置。等离子体反应室形成有工艺腔。升降装置承载工艺腔内的晶圆并驱动晶圆上升或下降。监测装置位于工艺腔内，监测装置配置为监测晶圆在工艺腔内的位置偏差。...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。