下载一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉的技术资料

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本实用新型公开了一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉,包括坩埚本体,所述坩埚本体顶部设有顶盖,所述顶盖与坩埚本体可拆卸连接,所述顶盖顶部开设有通孔,所述通孔内部设有支撑杆,所述通孔内壁设有内螺纹。本实用新型通过支撑杆与顶盖螺纹连接,支撑杆底部固定...
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