温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。