一种掩膜版对位传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。相对于HMU，本装置可以避免人员接触掩膜版，极大减少人员带来的颗粒物超标，保证洁净度，减少大颗粒划伤光刻镜头的可能性。且通过设置转运组件和输送组件接力使用，完成掩膜版的转运和卸料工作，减少人力，提升工作效率。提升工作效率。提升工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版对位传送装置


[0001]本技术涉及精密件制造
，更具体地说，涉及一种掩膜版对位传送装置。

技术介绍

[0002]目前绝大部分光刻机上版需借助手动上版装置(HMU，Hander Measurement Unit)，作业员抬版放置在HMU上，并通过手动转动螺杆矫正掩膜版的位置，推进光刻机放版，随后，光刻机进一步调整掩膜版的位置、角度，调整完成后，进行光刻。
[0003]HMU上版方式存在先天性的缺点，比如，由于过多人员参与无法保证掩膜版表面的洁净度、大颗粒掉落在掩膜版表面容易划伤光刻镜头、人员身上的静电容易造成静电累积、放版精度无法保证，会导致光刻机自我调整时间过长甚至调整失败现象等。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种掩膜版对位传送装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0005]本技术技术方案一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版对位传送装置，用于将掩膜版的送料和卸料，一侧设置有机械手，另一个伸入光刻机组内，其特征在于：包括相对设置的两个固定架、固定在两个固定架上的两条伸入光刻机组的输送滑轨，所述输送滑轨上滑动设置有输送组件；两个所述固定架之间设置有升降机构，所述升降机构上固定有用于转运掩膜版的转运装置，所述转运装置通过升降机构沿高于或者低于输送组件方向运动。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述转运装置包括与升降机构固定的升降盘、沿升降盘周向设置的四个电动滑轨，固定在电动滑轨上的支撑杆，以及与支撑杆远离电动滑轨端固定的夹持件，位于对位上的夹持件镜像对称设置，四个所述夹持件同时对掩膜版夹持。3.根据权利要求2所述的一种掩膜版对位传送装置，其特征在于：所述夹持...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐智俊，陆涛，李文，徐兵，杜晓威，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：