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一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法制造方法及图纸
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文档序号:30446977
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本发明公开了一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法,该校准装置包括支撑组件、调平组件以及调压组件;支撑组件包括基座以及竖直设置于基座上的立柱;调平组件包括与立柱转动连接的平衡杆以及穿设于平衡杆上且可沿平衡杆来回移动的平衡块;调压组件包括竖直...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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