一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法，该校准装置包括支撑组件、调平组件以及调压组件；支撑组件包括基座以及竖直设置于基座上的立柱；调平组件包括与立柱转动连接的平衡杆以及穿设于平衡杆上且可沿平衡杆来回移动的平衡块；调压组件包括竖直设置且与平衡杆转动连接的顶针、设置于顶针顶部的托盘、放置于托盘上的调压件以及用于夹压待校准薄膜式压力传感器的垫片，顶针和平衡块分别位于立柱的两侧。利用前述校准装置对薄膜式压力传感器进行压力响应校准。该校准装置及校准方法可用于实现各类薄膜式压力传感器的压力响应校准，同时能够校准不同温度下的压力响应，避免温度漂移的影响，实现不同温度条件下的压力精准测量。的压力精准测量。的压力精准测量。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法


[0001]本专利技术属于压力传感
，涉及压力传感器的校准设备，具体涉及一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法。

技术介绍

[0002]随着科技发展和对柔性薄膜式压力传感技术需求的提高，薄膜式压力传感器被广泛的应用于可穿戴电子设备领域，实现人体脉搏、心跳等生理信号的健康检测；机器人领域，实现机器人触觉感知；智能床垫、智能浴缸等智能家居用品领域；工业检测领域；科研领域等方面。
[0003]而现有薄膜式压力传感器种类繁多，主要包含：电容型、电阻型、压电型以及摩擦电型四个主要类型。不同种类的薄膜式压力传感器传感机制不同，导致其灵敏度、空间分辨率和压力响应范围都有较大差别。而针对同一类型传感器，受传感材料和生产工艺的影响，即使是同批生产的传感器产品，其压力响应也会有所差异。此外，由于受到传感器材料热力学特性的影响，薄膜式压力传感器的压力响应存在温度漂移的现象。因此，薄膜式压力传感器在生产时和长期使用后都需要对其校准，从而保证薄膜式压力传感器反应的压力状况贴近真实压力。
[0004]目前对压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：包括支撑组件、调平组件以及调压组件；所述支撑组件包括基座(1)以及竖直设置于基座(1)上的立柱(2)；所述调平组件包括与立柱(2)转动连接的平衡杆(3)以及穿设于平衡杆(3)上且可沿平衡杆(3)来回移动的平衡块；所述调压组件包括竖直设置且与平衡杆(3)转动连接的顶针(7)、设置于顶针(7)顶部的托盘(8)、放置于托盘(8)上的调压件(9)以及用于夹压待校准薄膜式压力传感器(12)的垫片(10)，所述顶针(7)和平衡块分别位于立柱(2)的两侧，所述垫片(10)包括相对设置于顶针(7)底端和基座(1)上表面的上垫片和下垫片。2.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：该校准装置还包括温度控制箱(11)，所述支撑组件、调平组件以及调压组件均设置于温度控制箱(11)中。3.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述上垫片与顶针(7)可拆卸连接，所述下垫片与基座(1)可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述可拆卸连接为螺纹连接。5.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述平衡杆(3)通过销杆与立柱(2)转动连接，所述顶针(7)通过销杆与平衡杆(3)转动连接。6.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述上垫片和下垫片与待校准薄膜式压力传感器(12)的传感区域(15)形状、面积相适配。7.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述顶针(7)的纵轴线位于基座(1)的中心位置。8.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器校准装置，其特征在于：所述调压件(9)为砝码。9.一种薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：周凯，李泽瑞，王子康，傅尧，梁钟颖，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：