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本发明提供一种在机台零件上形成纳米涂层的方法，包括：清洁零件表面；提供类金刚石离子束，利用PVD工艺将类金刚石离子束沉积至零件表面，形成第一膜层；提供TiN和CrN离子束，利用PVD工艺将TiN和CrN离子束沉积至第一膜层表面，形成第二膜层...
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