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本申请提供了一种用于干燥晶圆的方法和装置。该方法包括：将去离子水和溶质混合得到表面张力低于所述去离子水的表面张力的溶液；在所述溶液上形成气体层；利用所述溶液浸泡所述晶圆；以及将所述晶圆经由所述溶液与所述气体层之间的气液界面从所述溶液移动至所...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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