下载掩蔽装置、结合半导体衬底及形成半导体器件的方法的技术资料

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一种用于结合半导体衬底的方法包括:将管芯放置在衬底上,以及在管芯及衬底上执行加热工艺,以将相应的第一连接件与相应的第二连接件结合。管芯上的多个第一连接件中的相应的第一连接件接触衬底上的多个第二连接件中的相应的第二连接件。加热工艺包括:在激光...
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