下载半导体晶圆保护片的技术资料

文档序号:30342538

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本发明是关于一种用于半导体晶圆的保护片,其包括具有良好包覆性的软质层,和用于贴附在半导体晶圆的电路形成面上的黏着层。其中,该软质层包含热塑性聚氨酯系,且于25℃和下70℃下取得该二温度下的储存模数范围,以及维卡软化点的储存模数与损失模数的比...
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