下载一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置的技术资料

文档序号:30322842

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本发明公开了一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置,属于真空镀膜技术领域,目的在于解决现有多位涂层厚度检测装置长度不可调而带来的制作调试产品工艺时的问题。其包括防污外筒,所述防污外筒内套设有内筒,所述内筒顶端连接有密封法兰,所述密封法兰上...
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