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本发明公开了一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。本发明通过同步驱动束斑测量组件和电子束输出组件，以...
该专利属于盐城工学院所有，仅供学习研究参考，未经过盐城工学院授权不得商用。

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