一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法技术

本发明专利技术公开了一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。本发明专利技术通过同步驱动束斑测量组件和电子束输出组件，以实现束斑测量组件与电子束做同步运动，可以实时对扫描电子显微镜的电子束斑大小进行测量，简单方便，在拍摄图片时采用法拉第杯为图片背景，极大的提高了拍摄的对比度；采用微分曲线计算束斑的尺寸更加准确，可靠，从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。实用性强的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法


[0001]本专利技术涉及发泡模铸件
，更具体为一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法。

技术介绍

[0002]在高分辨率扫描电子显微镜的相关应用中，扫描电子显微镜电子束的参数指标对于表征扫描电子显微镜的工作性能具有重要意义，特别是电子束的电流大小和束斑尺寸。电子束的电流值将影响电子束的亮度，电子束的束斑尺寸将决定扫描电镜的成像分辨率。因此准确测量电子束束斑尺寸是十分有必要的。
[0003]目前，用于测量电子束斑尺寸的方法主要通过电子束曝光胶或者是用测电子束电流的方法来实现，在微米级的束斑测量中，电子束曝光胶因为制片工艺复杂、显影定影工序繁琐以及成像不精准测量误差偏大等不足，难于应用。因此，需要提供一种新的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其解决了目前，用于测量电子束斑尺寸的方法主要通过电子束曝光胶或者是用测电子束电流的方法来实现，在微米级的束斑测量中，电子束曝光胶因为制片工艺复杂、显影定影工序本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。2.根据权利要求1所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述束斑测量组件包括YAG晶体板、反光镜、法拉第杯和CCD相机。3.根据权利要求2所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述反光镜设置在YAG晶体板背面并背离电子束输出组件的一侧，所述CCD相机设置在反光镜的反射光路上，所述YAG晶体板法拉第杯的杯口处。4.根据权利要求2所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述电子显微镜电子束斑尺寸的测量方法包括如下步骤：步骤1：将一宽度小于法拉第杯直径的YAG晶体设置于法拉第杯的杯口，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵俊，朱锦新，徐森，孙久，王颖，钱月，
申请(专利权)人：盐城工学院，
类型：发明
国别省市：