下载存储器件的技术资料

文档序号:30219907

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公开了一种存储器件,其包括:衬底;在衬底上的下导电层;堆叠结构,包括交替地堆叠在下导电层上的栅极层和层间绝缘层;在沟道孔中的沟道结构,该沟道孔在垂直方向上穿透堆叠结构;以及在公共源极线沟槽中的公共源极线结构,该公共源极线沟槽在垂直方向上穿透...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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