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一种基于激光微加工高动态响应高精度运动平台制造技术
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文档序号:30189872
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本实用新型公开了一种基于激光微加工高动态响应高精度运动平台,包括底板,底板的左右两侧分别对称的设有两个下磁轨,下磁轨,下磁轨内部两侧分别对称的设有若干段磁铁二,底板上两侧位于下磁轨的旁边位置分别对称的设有两个下导轨,下导轨的上方设有移动基板...
该专利属于无锡地心科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡地心科技有限公司授权不得商用。
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