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本实用新型提供一种倒装芯片封装模具,包括定模底座,定位底座上方安装有定模,定模上方设有动模,动模上方安装有气体主通道,气体主通道上分别设立气体检测筏和真空阀,气体主通道末端安装有真空泵,气体主通道和真空泵之间接有单向阀。本实用新型提高通过在...该专利属于海太半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海太半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种倒装芯片封装模具,包括定模底座,定位底座上方安装有定模,定模上方设有动模,动模上方安装有气体主通道,气体主通道上分别设立气体检测筏和真空阀,气体主通道末端安装有真空泵,气体主通道和真空泵之间接有单向阀。本实用新型提高通过在...