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本实用新型提供了一种间隙测量仪、反应腔及半导体设备，所述间隙测量仪包括光源、探头、两个图像传感器和数据处理器；探头包括两个具有预设夹角的镜头；光源用于向待测位置提供照射光以形成反射光；两个镜头用于分别接收由待测位置反射回来的反射光，并将反射...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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