下载划切由载具支撑的晶片或基板的方法的技术资料

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描述了划切由载具支撑的晶片或基板的方法以及用于划切半导体晶片的载具,每一个晶片都具有多个集成电路。在示例中,用于在蚀刻工艺中支撑晶片或基板的载具包含框,所述框具有环绕内开口的周界。所述载具也包含带,所述带耦合至所述框,并且设置在所述框的所述...
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