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本发明公开一种激光退火设备及激光退火方法，涉及激光退火技术领域，使得退火更加均匀，并且腔室占用面积小，节约成本。所述激光退火设备包括激光器、密封腔、设置在密封腔内的旋转承载机构、以及与密封腔驱动连接的直线移动机构。旋转承载机构用于单个承载待...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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