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本实用新型公开了一种硼扩散设备,包括供源装置和扩散炉，所述供源装置包括供源组件、主管道以及多组分管道，扩散炉包括石英管组件，石英管组件包括石英管、尾部匀流组件、炉口匀流组件、进气管和气路管，进气管、分管道与输气管连通，形成工艺气体流通通道，...
该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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