下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:30047998

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种半导体结构及其形成方法,该半导体结构包括:衬底;多个存储区,多个所述存储区在衬底上阵列排布,用于形成存储器件;多个切割道,每个所述切割道位于相邻两个所述存储区之间;对准标记,位于所述切割道中,形成于所述衬底上,靠近两个所述存...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。