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一种配置为多位存储器件的铁电场效应晶体管(FeFET),该FeFET包括:半导体衬底,在该半导体衬底中具有源极区,在该半导体衬底中具有漏极区;栅极堆叠件在半导体衬底上,其中源极区和漏极区延伸到栅极堆叠件的相对侧,该栅极堆叠件包括在半导体衬底...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种配置为多位存储器件的铁电场效应晶体管(FeFET),该FeFET包括:半导体衬底,在该半导体衬底中具有源极区,在该半导体衬底中具有漏极区;栅极堆叠件在半导体衬底上,其中源极区和漏极区延伸到栅极堆叠件的相对侧,该栅极堆叠件包括在半导体衬底...