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本发明提供一种陶瓷生坯的加工方法、陶瓷件制作方法及陶瓷件,其包括以下步骤:S1、采用第一刀具对陶瓷生坯的待处理表面进行表面加工,以使待处理表面达到第一表面粗糙度;S2、采用第二刀具对待处理表面进行表面加工,以使待处理表面达到第二表面粗糙度;...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种陶瓷生坯的加工方法、陶瓷件制作方法及陶瓷件,其包括以下步骤:S1、采用第一刀具对陶瓷生坯的待处理表面进行表面加工,以使待处理表面达到第一表面粗糙度;S2、采用第二刀具对待处理表面进行表面加工,以使待处理表面达到第二表面粗糙度;...