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本发明提供了一种双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法，该热敏层结构包括保护层以及位于保护层上方的热敏薄膜层，所述热敏薄膜层包括分两侧设置的非晶锗硅薄膜和VOx薄膜。本发明可以用于双模式非制冷红外探测器，在需要NETD低的场景，VOx...
该专利属于武汉高芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉高芯科技有限公司授权不得商用。

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