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本创作为一种锥形气体喷头，提供安装面朝下型(Face Down)气相沉积的反应腔室中，且相邻于反应腔室内的基板，锥形气体喷头连接一管路总成，令锥形气体喷头可喷散管路总成供应的气体，以在设置在反应腔室中的基板上形成薄膜。锥形气体喷头包括多层排...
该专利属于苏州雨竹机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州雨竹机电有限公司授权不得商用。

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