液体供应系统、过滤器件及其清洁方法技术方案资料下载

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文档序号：29955456

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过滤器件包括一个或多个滤膜以及包围该一个或多个滤膜的过滤器壳体。滤膜中的每个包括由陶瓷材料制成的基膜以及多个通孔。基膜涂有涂覆材料。本申请的实施例还涉及液体供应系统和清洁过滤器件的方法。统和清洁过滤器件的方法。统和清洁过滤器件的方法。该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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