下载晶片的加工方法的技术资料

文档序号:29955280

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本发明提供晶片的加工方法,稳定地实施在晶片的背面形成圆形凹部和环状凸部的所谓TAIKO磨削。该方法具有如下步骤:加工准备步骤(1001),利用卡盘工作台对晶片进行保持,在主轴的下端固定直径相当于晶片的半径的粗磨削磨轮;限定磨削步骤(1002...
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