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本实用新型属于自动化镀膜的技术领域，尤其涉及一种可调靶基距的基片装夹装置。包括基片架框架，所述基片架框架上设有多个可用于安装垫片的安装位，通过安装不同高度的垫片可调节基片镀膜表面与靶材表面之间的靶基距使异型基片正面镀膜时的靶基距与反面镀膜时...
该专利属于广东生波尔光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东生波尔光电技术有限公司授权不得商用。

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