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本发明公开了一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，包括安装于地面上的桶体和设置于桶体上端的盖板，所述盖板顶面的中心处安装有第一电机，第一电机的转轴延伸至盖板下端，并安装有电动滑台，电动滑台的移动平台上安装有第二电机，第二电机的转轴上安装有工...
该专利属于兰州工业学院所有，仅供学习研究参考，未经过兰州工业学院授权不得商用。

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