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本发明提供一种用于防止探针卡的破损的探针卡保持装置以及检查装置。包括：框架，其通过真空吸附来保持探针卡；密封部，其设于上述框架，并且与上述探针卡接触而形成密闭空间；配置部，其在将上述探针卡保持于上述框架时，用于对形成于上述探针卡的外周部的第...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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