探针卡保持装置以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于防止探针卡的破损的探针卡保持装置以及检查装置。包括：框架，其通过真空吸附来保持探针卡；密封部，其设于上述框架，并且与上述探针卡接触而形成密闭空间；配置部，其在将上述探针卡保持于上述框架时，用于对形成于上述探针卡的外周部的第一卡合部进行配置；第二卡合部，其能够在避开上述配置部的位置和与上述配置部重叠的位置之间切换；以及驱动部，其用于驱动上述第二卡合部，在真空吸附解除，并且上述第一卡合部与上述第二卡合部卡合时，上述探针卡在上述密封部维持与上述探针卡的密封的状态下被保持。上述探针卡的密封的状态下被保持。上述探针卡的密封的状态下被保持。

【技术实现步骤摘要】
探针卡保持装置以及检查装置


[0001]本专利技术涉及探针卡保持装置以及检查装置。

技术介绍

[0002]将形成有半导体元件的晶圆载置于载台上，并且通过自测试器经由探针等对半导体元件供给电流，从而检查半导体元件的电气特性的检查装置为人所知。
[0003]在专利文献1中，公开了夹紧探针卡的外缘，从而防止探针卡的落下的探针卡的夹紧机构。
[0004]<现有技术文献>
[0005]<专利文献>
[0006]专利文献1：(日本)特开2011－64659号公报

技术实现思路

[0007]<本专利技术要解决的问题>
[0008]在一个方面中，本专利技术提供一种用于防止探针卡的破损的探针卡保持装置以及检查装置。
[0009]<用于解决问题的手段>
[0010]为了解决上述课题，根据一个实施方式，提供一种探针卡保持装置，包括：框架，其通过真空吸附来保持探针卡；密封部，其设于上述框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡保持装置，包括：框架，其用于通过真空吸附来保持探针卡；密封部，其设于上述框架，并且与上述探针卡接触而形成密闭空间；配置部，其在将上述探针卡保持于上述框架时，用于对形成于上述探针卡的外周部的第一卡合部进行配置；第二卡合部，其能够在避开上述配置部的位置和与上述配置部重叠的位置之间切换；以及驱动部，其用于驱动上述第二卡合部，在真空吸附解除，并且上述第一卡合部与上述第二卡合部卡合时，上述探针卡在上述密封部维持与上述探针卡的密封的状态下被保持。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：山县一美，川嶋龙雄，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：