下载加热器的温度控制方法、加热器和载置台的技术资料

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一种加热器的温度调节方法,所述加热器包括:由半导体基片构成的1片板状部件;和在所述一片板状部件的侧面,在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极,该温度调节方法包括:在所述电极与其他的所述电极之间通电,并依次切换要通电的所述电极的组,来对所述...
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