加热器的温度控制方法、加热器和载置台技术

一种加热器的温度调节方法，所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，该温度调节方法包括：在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按每个所述电极的组而设定的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加热器的温度控制方法、加热器和载置台
本公开涉及加热器的温度控制方法、加热器和载置台。
技术介绍
专利文献1公开了将晶圆载置在硅板加热器(siliconheater)上，通过硅板加热器对晶圆均匀加热。专利文献1公开的硅板加热器，沿着硅板的外周部对置地设置有带状端子，并在硅板的中央部，在将连接带状端子的线横穿的方向上设置有至少一个贯通缝。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2005-251560号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本公开提供一种技术，能够在可低成本制造的加热器中，容易地获得所要求的面内温度分布。解决问题的技术手段本公开的一个方面提供一种加热器的温度调节方法，所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，所述温度调节方法包括：在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按每个所述电极的组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器的温度调节方法，其特征在于：/n所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，/n所述温度调节方法包括：/n在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，/n其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按所述电极的组而设定的。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190125 JP 2019-0115381.一种加热器的温度调节方法，其特征在于：
所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，
所述温度调节方法包括：
在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，
其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按所述电极的组而设定的。


2.根据权利要求1所述的加热器的温度调节方法，其特征在于：
所述电极间的通电时间是基于该电极间的距离或电阻值而设定的。


3.根据权利要求1或2所述的加热器的温度调节方法，其特征在于：
对于在径向方向上划分所述板状部件而得到的每个区域，将具有与该区域对应的位置关系的电极的组，设定为用于对该区域加热的所述电极的组。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的加热器的温度调节方法，其特征在于：
...

【专利技术属性】
技术研发人员：河西繁，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP